四探針測試儀使用說明

四探針測試儀是根據四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以測量棒狀、塊狀半導體材料的電阻率和半導體擴散層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻，是硅材料質量監測的必需儀器。
儀器主要技術指標：
1．   范圍：電阻率10-4—103Ω—cm，可擴展至105Ω—cm，
    分辯率為10-6Ω—cm
         方塊電阻10-3—103Ω /電阻10-6—105Ω
2．  可測半導體尺寸：直徑Φ15—150mm
3．  測量方式：軸向、斷面均可（手動測試架）
4．  數字電壓表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V 
  (2)測量精度 0.2mV檔±（0.3%讀數+8字）
              2 mV檔以上±（0.3%讀數+2字）
  (3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω
              20mV檔以上>108Ω
5．  恒流源：（1）電流輸出：直流電流0—100mA連續可調，由交流電源供給
   （2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔
   （3）電流精度：±（0.3%讀數+2字）
6．四探針測試探頭  （1）探頭間距：1mm   (2)探針機械游率：±0.3% 
                   (3) 探針：Φ0.5mm