實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī)的使用說明

KW-4A臺(tái)式勻膠機(jī) ：（Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。  
詳細(xì)介紹： 勻膠機(jī)(英文名：Spin Coater)  
行業(yè)俗稱:勻膠臺(tái),甩膠機(jī),涂膠機(jī),鍍膜機(jī),涂層機(jī),旋涂機(jī),旋涂?jī)x等。   

 KW-4A臺(tái)式勻膠機(jī)  
產(chǎn)品概述:   
  KW-4A臺(tái)式勻膠機(jī) 適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.    勻膠機(jī)穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機(jī)的特點(diǎn).    
KW-4A臺(tái)式勻膠機(jī) 在這方面采取了許多技術(shù):  
(一)使用進(jìn)口配件(韓國(guó)定子和轉(zhuǎn)子，美國(guó)電機(jī))使高轉(zhuǎn)速加速度更加穩(wěn)定,控制更加精確.  
(二)定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵(lì)磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速*得多,轉(zhuǎn)速在1000~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定.在未取得真空的狀態(tài)不會(huì)轉(zhuǎn)到,保證了使用的可靠性.   
(三)本勻膠機(jī)有兩個(gè)轉(zhuǎn)速.在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào).  
(四)本勻膠機(jī)測(cè)速采用光電的辦法,在光電測(cè)速盤的邊上有三個(gè)缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍，盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測(cè)速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個(gè)脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當(dāng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)時(shí),如果計(jì)時(shí)器在2秒內(nèi)計(jì)的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn).故計(jì)數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個(gè)數(shù)量級(jí).  
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機(jī)工作,提高了效率. 
(六)勻膠機(jī)的定時(shí)功能由時(shí)基電路556來(lái)完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個(gè)勻膠時(shí)間.  
(七)智能型調(diào)節(jié)勻膠時(shí)間,時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘.  
(八)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度.  
(九)勻膠機(jī)配真空泵使用（推薦配套使用雙級(jí)無(wú)油環(huán)保真空泵 SK-65C型）   
 
KW-4A臺(tái)式勻膠機(jī)
性能指標(biāo)：  
產(chǎn)品特色 ·
具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能； 
數(shù)字按鍵，轉(zhuǎn)速與時(shí)間設(shè)定方便、精確；
增加按鍵互鎖功能，防止誤操作飛片；
增加無(wú)油泵控制開關(guān)，泵啟停控制方便，有效減少泵的發(fā)熱及噪聲。
性能參數(shù)
勻膠機(jī)功率 100W，
勻膠均勻性±2%，
機(jī)械泵功率 350W，
抽速≥60L/MIN； 
電機(jī)閉環(huán)控制，轉(zhuǎn)速兩檔可設(shè)，
高速范圍：1000-8500RPM，
低速范圍：500-8500 RPM； 
電機(jī)運(yùn)行時(shí)間兩檔可設(shè)，
高速時(shí)間范圍：0-999S，
低速時(shí)間范圍：0-999S； 
電機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%，
電機(jī)定時(shí)精度：±20PPM；
轉(zhuǎn)速顯示：范圍 0-9990 轉(zhuǎn)/分、精度±10R/Min，
時(shí)間顯示：范圍 0-999S、
精度±20ppm；
寬電壓適用：
單相 AC100-240V 輸入； 
外型尺寸：210mm（W）×240mm（D）×180mm（H）； 
產(chǎn)品質(zhì)量：勻膠機(jī) 6.5 KG，
機(jī)械泵 9KG；
適用基片：Φ5-Φ100mm 圓片及方片。